‌氮气柜保存晶圆的要求

‌氮气柜保存晶圆的要求

1. 保持常温：氮气柜应该保持在常温下，*得出现明显的温度波动。

2. 低湿度：晶圆保存需要保持低湿度，氮气柜应该保持较低的湿度，一般应该低于10％。

3. 恒定氮气流量：在保存晶圆的过程中，必须保持恒定的氮气流量，以保持气氛稳定。

4. 防尘：氮气柜保存晶圆时应保持室内清洁，避免灰尘、污染等造成晶圆表面的损伤。

5. 避免震动和冲击：晶圆保存需要避免震动和冲击，防止晶圆表面微结构的变化。

6. 避免其他气体混入：在使用氮气柜保存晶圆时，应避免其他气体的混入，以保证气氛的纯净度。

7. 定期清洁和维护：氮气柜保存晶圆时，应定期清洁和维护设备，保证气氛纯净度和设备的正常运行。